Короткий вступ до тетрафториду вуглецю

Carbon tetrafluoride, also known as tetrafluoromethane, has the chemical formula CF4. It can be regarded as both a halogenated hydrocarbon (organic matter) and an inorganic compound. It is a colorless gas at room temperature and pressure, insoluble in water, but soluble in benzene and chloroform. It в основному використовується в процесах травлення плазми для різних інтегрованих схем ., він також використовується як лазерний газ, низькотемпературний холодоагент, розчинник, мастило, ізоляційний матеріал та теплоносій для інфрачервоних детекторних труб .}}